Nanotechnologie

LTI Nanotechnologie

In unserem Reinraum (ISO Klasse 6) und in den Optiklaboren fertigen und charakterisieren wir neuartige optoelektronische Komponenten. Dazu werden neben Dünnschichttechniken und den klassischen Lithographieverfahren verschiedene nanotechnologische Herstellungsverfahren eingesetzt, sowie neue Verfahren entwickelt und untersucht.

Die gezielte Materialstrukturierung im Bereich der Wellenlänge des Lichts ermöglicht eine massive Beeinflussung der optischen, elektronischen oder akustischen Eigenschaften. Dazu setzten wir beispielsweise 3D-Lithographie mit Zwei-Photonen-Absorption, Schrägbedampfung, Selbstorganisationsprozesse und Interferenzbelichtung ein. Forschungsgebiete wie Nanoakustooptik, Photonische Kristalle oder integrierte optische Sensorik erhalten hierdurch ständig neue Impulse.