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Leitung
Lemmer

Prof. Dr. rer. nat. Uli Lemmer

Tel. +49 721 608 42530
Fax +49 721 608 42590

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Nanotechnologie

LTI Nanotechnologie
In unserem Reinraum (ISO Klasse 6) und in den Optiklaboren fertigen und charakterisieren wir neuartige optoelektronische Komponenten. Dazu werden neben Dünnschichttechniken und den klassischen Lithographieverfahren verschiedene nanotechnologische Herstellungsverfahren eingesetzt, sowie neue Verfahren entwickelt und untersucht.