Weiterentwicklung eines 3D-Laserlithographie-Systems

  • Aufgabe:

    • Softwareentwicklung in Lab-View
    • Herstellen von 3D-Mikrostrukturen

    Voraussetzungen:

    • eigenverantwortliches Arbeiten
    • Spaß an der Arbeit in einem modernen, interdisziplinärausgerichteten Photoniklabor
    • Erfahrung in Programmierung von Vorteil, aber nicht notwendig

    Beginn: ab sofort

 

 
Abbildung 1: Prinzip der 3D-Laserlithographie Abbildung 2: Beispiel einer Mikrostruktur
(REM-Aufnahme)

Motivation

Am Institut sollen mit Hilfe der direkten Laserlitho-graphie aktive und passive optoelektronische Bau-elemente aus neuartigen Materialien hergestelltwerden. Bei dieser Methode wird ein Photolack durch einen fokussierten Laserstrahl punktell belichtet. Damit lassen sich theoretisch Strukturen mitAbmessungen im Nanometerbereich realisieren.
Das Herstellungsverfahren nutzt die besonderenEigenschaften eines Femtosekundenlasers, die esermöglichen auch dreidimensionale Strukturen zuerzeugen. Der Laserstrahl wird mit einem Mikroskop auf die Probe fokussiert. Die Bewegung desLaserstrahls im Material erfolgt durch die Verschie-bung der Probe mit einem xyz-Nanopositioniertisch.

Aufgabe

Im Rahmen einer Studienarbeit soll das bestehendeSystem weiterentwickelt und optimiert werden.Dies beinhaltet sowohl die Anpassung bestehender Softwarealgorithmen zum Import von CAD Standardformaten an die Bewegung des Positionierti-sches und die Belichtungszeit durch den Laser als auch die Optimierung der Prozessparameter fürverschiedene Photolacke.