Dielektrisch behinderte Entladungen zur Excimer-Bildung sind eine leistungsstarke und effiziente Strahlungsquelle für den tiefen UV-Bereich. Aufgrund ihres kapazitiven Charakters und der hohen erforderlichen Spannungen stellen DBEs eine anspruchsvolle Last dar. Im Rahmen dieses Projektes werden innovative Schaltungstopologien entwickelt, um DBE mit hoher Systemeffizienz zu betreiben.
Entwicklung von effizienten Betriebsgeräten für dielektrisch behinderte Entladungen (DBE)
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Projektgruppe: | Licht- und Plasmatechnologien | ||