Dielektrisch behinderte Xe-Excimerstahler emittieren ein schmalbandiges Spektrum mit Peakwellenlänge 172 nm. Aufgrund der Absorption von Sauerstoff kann die Bestimmung des Strahlungsflusses nicht in Luft stattfinden. In dieser Arbeit wurde deshalb ein Messstand zu Strahlungsflussbestimmung im VUV-VIS-NIR aufgebaut.
Aufbau eines Messstandes zur Bestimmung des Strahlungsflusses von Xe-Excimerstrahlern
| Tagung: | Vortrag: Studienarbeit | ||
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| Referent: | Mark Paravia | ||
| Zeit: | Montag, den 12.09.2005 | ||
