Dielektrisch behinderte Entladungen zur Excimer-Bildung sind eine leistungsstarke und effiziente Strahlungsquelle für den tiefen UV-Bereich. Aufgrund ihres kapazitiven Charakters und der hohen erforderlichen Spannungen stellen DBEs eine anspruchsvolle Last dar. Im Rahmen dieses Projektes werden innovative Schaltungstopologien entwickelt, um DBE mit hoher Systemeffizienz zu betreiben.