R. Sens, E. Thiel, R. Bornemann

Zusammenfassung: Verfahren zur Detektion der durch einen Umwelteinfluss hervorgerufen Änderung einer physikalisch messbaren Eigenschaft einer Probe, bei dem man (i) die Probe während einer Einwirkungszeit ∆t dem Umwelteinfluss aussetzt, wobei man den Umwelteinfluss mit einer bekannten ortsabhängigen Intensitätsverteilung I(x, y) (Intensitätsmuster), der eine Musterfunktion M(x, y) zu Grunde liegt, auf die Probe einwirken lässt, (ii) anschließend die Transmission, Reflexion oder Streuung von Analysestrahlung durch die Probe in Abhängigkeit der Ortskoordinaten (x, y) der Probe und der Wellenlänge λ der Analysestrahlung detektiert und so eine Antwortfunktion A(x, y, λ) bestimmt, welche die Intensität der transmittierten, reflektierten oder gestreuten Analysestrahlung in Abhängigkeit von den Ortskoordinaten (x, y) der Probe und der Wellenlänge λ wiedergibt, (iii) durch Korrelationsanalyse die Korrelation der bekannten ortsabhängigen Intensitätsverteilung I(x, y) des Umwelteinflusses oder der dieser zu Grunde liegenden Musterfunktion M(x, y) mit der Antwortfunktion A(x, y, λ) bestimmt, wobei diese Korrelation ein Maß für die durch den Umwelteinfluss hervorgerufene Änderung der physikalisch messbaren Eigenschaft der Probe ist.