Home | english | Impressum | Datenschutz | Sitemap | KIT

Labore

 

Technologielabor (Reinraum)

 

 

Reinraumbereich Lithografie ( Reinraumklasse 1000 / ISO 6; Gelblicht)

  • Nassprozessbank mit Spincoater, Hotplate, Ultraschallreinigung und Millipore Reinstwasseranlage
  • Mask Aligner Suss MJB3
  • optisches Zeiss-Mikroskop mit Kamera
  • Rasterelektronenmikroskop Cambridge mit Elphy eBeam Belichtungserweiterung
  • mobiles Rasterkraftmikroskop
  • Profilometer Dektak
Reinraumbereich Dünnschicht (Reinraumklasse 10.000 / ISO 7)
  • Aufdampfanlage für definierte Winkelabscheidung
  • Plasmacleaner / -ätzer (Sauerstoff, Argon)
  • UV/VIS Spektrometer von Perkin Elmer
  • Gloveboxsystem mit integriertem Kühlschrank, Spincoater, Vakuumofen und UV-Belichtung unter Laminarflow mit Kühlung
  • Kombinierte Leybold Univex Sputter- und e-Beam Anlage mit Glovebox-Loadlock
  • Glovebox mit integrierter Anlage zur organischen MBE Dünnschichtdeposistion - Lesker Spectros
  • Glovebox mit Oriel Solarsimulator und vollautomatischem Charakterisierungssystem für organische Bauelemente      
Reinraumbereich Chemie (Reinraumklasse 100.000 / ISO 8)
  • Ball Bonder von K&S
  • 2 Chemieabzüge
  • Reinstwasseranlage
  • Vollautomatisches Filmziehgerät (Rakel) von Fa. Zehntner

 

 

Laserlabor

 

 

 

Interferenz- Lithographie

  • Gitterperioden von 180 nm oder größer homogen belichtete Fläche von 3“

Lasermessplatz

  • Wellenlänge: 355 nm, 532 nm und 1064 nm
  • Pulsdauer: < 1 ns
  • Pulsenergie: bis zu 4 μJ/Puls
  • Repititons Rate: 0- 20 kHz

Wellenleitermessplatz

  • Wellenlängenbereich 1500 bis 1600 nm
  • Einkopplung in Stirnflächen ab 3 μm2

Wellenleiterdämpfungsmessplatz

Akustische Oberflächenwellen

  • Anregung akustischer Oberflächenwellen mit Frequenzen bis zu 20 GHz
Laserlithographie
  • Strukturgrößen von 200nm bis 1μm
  • dreidimensionale Strukturierung
Charakterisierung von Fotodetektoren
  • Wellenlängenbereich: 350 - 2000 nm
Femtosekundenspektroskopie
  • Messung der differentiellen Transmission an organischen Proben bis zu ΔT/T = 10-6
  • Erzeugung eines Weißlichtkontinuums in einer „Tapered Fiber“

Laser-Speckle Messplatz

Einzelmolekülspektroskopie